Mikro- ir nanotechnologijos elektronikoje, II dalis
Mokomoji knyga
| Autorius | Romualdas Anilionis, Julija Anilionienė, Darius Andriukaitis |
|---|---|
| e. ISBN | 978-609-02-0570-9 |
| ISBN | 978-609-02-0569-3 |
| DOI | 10.5755/e01.9786090205709 |
| Leidykla | KTU leidykla "Technologija" |
| Leidimas | 1 |
| Išleidimo metai | 2012 |
| Puslapių sk. | 84 |
Anotacija
Leidinyje aprašyti integrinių mikrograndynų gamybos pagrindiniai technologiniai procesai. Pateiktos dvikrūvių mikrograndynų integrinių elementų technologijos. Skirtas pirmos studijų pakopos studentams, bet gali būti naudinga ir magistrantams.