Viso knygų: 929
el. paštaskodas

Mikro- ir nanotechnologijos elektronikoje, II dalis

Mokomoji knyga

  
AutoriusRomualdas Anilionis, Julija Anilionienė, Darius Andriukaitis
e. ISBN978-609-02-0570-9
ISBN978-609-02-0569-3
DOI10.5755/e01.9786090205709
LeidyklaKTU leidykla "Technologija"
Leidimas1
Išleidimo metai2012
Puslapių sk.84

Anotacija

Leidinyje aprašyti integrinių mikrograndynų gamybos pagrindiniai technologiniai procesai. Pateiktos dvikrūvių mikrograndynų integrinių elementų technologijos. Skirtas pirmos studijų pakopos studentams, bet gali būti naudinga ir magistrantams.