Anotacija

Mokomoji knyga papildo ankstesniame leidime publikuotą elektrostatiniu būdu veikiančių MEMS įtaisų projektavimo metodiką ir su ja susijusias žinias. Leidinyje nagrinėjami realiųjų elektrostatinių MEMS įtaisų sukūrimo ir testavimo pavyzdžiai. Kiekvieno skyriaus pabaigoje pateikiami kontroliniai uždaviniai ir klausimai, kurie padės detaliau suvokti teorinę medžiagą. Knyga skirta ne tik antrosios ir trečiosios pakopos studijų klausytojams, besimokantiems mikrosistemų projektavimo ir kitų su mikrosistemomis susijusių disciplinų, ir atliekantiems mokslinius tyrimus. Leidinys bus naudingas platesniam elektroninių ir elektromechaninių sistemų konstruktorių ratui kaip pažintinė medžiaga.