TURINYS
PRATARMĖ
1. DVIKRŪVIŲ MIKROGRANDYNŲ TECHNOLOGIJOS
1.1. Mikrograndynų elementų technologija
1.1.1. Mikrograndynų n+pn tranzistoriai
1.1.2. Dvikrūvio mikrograndyno n+pn tranzistoriaus parametrai
1.1.3. Puslaidininkinių mikrograndynų tranzistorių konstrukcijos parinkimas
1.1.4. Mikrograndynų diodų technologija
1.1.5. Mikrograndynų rezistorių technologija
1.1.6. Mikrograndynų kondensatorių technologija
1.1.7. n+p n tranzistorių variantai ir pnp tranzistoriai
1.1.8. pn sandūros lauko tranzistorių technologija
1.1.9. Funkciškai integruoti mikrograndynų elementai
1.1.10. Aktyvieji greitaveikių mikrograndynų elementai
1.2. Puslaidininkinių mikrograndynų technologijos
1.2.1. Planarinė epitaksinė technologija
1.2.2. KID technologija
1.2.3. BID technologija
1.2.4. Trijų fotošablonų technologija
1.2.5. EPIC technologija
1.2.6. DEKAL technologija
1.2.7. Silicio ant safyro technologija
1.2.8. Izoplanarinė technologija
1.2.9. Izoplanarinės technologijos problemos
1.2.10. Epiplanarinė technologija
1.2.11. Poliplanarinė technologija
1.2.12. Dvipolių mikrograndynų technologijų palyginimas
2. LITERATŪRA