TURINYS
ĮVADAS
1. PLONASLUOKSNĖS DANGOS IR NANOMEDŽIAGOS
1.1. Plonasluoksnės dangos
1.2. Sluoksniuotos ir nanostruktūrizuotos medžiagos
1.2.1. Mechaninės savybės
1.2.2. Magnetinės savybės
1.2.3. Elektrinės savybės
2. PLONŲ DANGŲ SUDARYMO METODŲ KLASIFIKACIJA
3. FIZIKINIO NUSODINIMO IŠ GARŲ FAZĖS PROCESŲ FIZIKA
3.1. Medžiagos pavertimas į garų fazę
3.1.1. Medžiagų garavimo procesas
3.1.1.1. Vienelementės medžiagos garavimas
3.1.1.2. Lydinių garavimas
3.1.1.3. Cheminių junginių garavimas
3.1.1.4. Išgarintų dalelių būsena
3.1.1.5. Išgarintų dalelių vidutinė energija ir pasiskirstymas pagal energijas
3.1.1.6. Išgarintų dalelių srauto pasiskirstymas pagal kampus
3.1.1.7. Garavimo proceso efektyvumas
3.1.2. Medžiagų dulkėjimo procesas
3.1.2.1. Vienvalenčių medžiagų dulkėjimas
3.1.2.2. Metalų lydinių dulkėjimas
3.1.2.3. Cheminių junginių dulkėjimas
3.1.2.4. Medžiagų dulkėjimo efektyvumas
3.1.3. Medžiagų abliacijos procesas
3.2. Dalelių pernaša nuo jų šaltinio iki kondensacijos vietos
3.3. Kondensacija, dangų susidarymas ir mikrostruktūros evoliucija
3.3.1. Adsorbcija ir paviršinė difuzija
3.3.2. Kondensacijos užuomazgų susidarymas ir jų augimas
3.3.3. Ištisinio sluoksnio susidarymas paviršiuje
3.3.4. Technologinių parametrų įtaka kondensacijos užuomazgų susidarymui ir augimui
3.3.4.1. Padėklo temperatūros ir priemaišų įtaka dangų mikrostruktūrai
3.3.5. Epitaksinė kondensacija
4. FIZIKINIO NUSODINIMO IŠ GARŲ FAZĖS VAKUUME TECHNIKA IR TECHNOLOGIJA
4.1. Sluoksnių nusodinimas terminiu garinimu vakuume
4.1.1. Garintuvai
4.1.2. Specialios paskirties garintuvai
4.1.3. Elektroninio kaitinimo garintuvai
4.1.4. Sluoksnių storio pasiskirstymas
4.1.5. Bandinių (padėklų) laikikliai
4.1.6. Garinimu vakuume nusodinamų sluoksnių užterštumo nustatymas
4.1.7. Nusodinimo proceso kontrolė
4.1.7.1. Kvarcinio vibratoriaus metodas
4.1.7.2. Varžinis storio matuoklis
4.1.7.3. Fotometriniai metodai
4.2. Joniniai plazminiai sluoksnių nusodinimo metodai
4.2.1. Dujų išlydžio plazma
4.2.1.1. Dujų savaiminio išlydžio tipai
4.2.1.2. Lankinis dujų išlydis
4.2.2. Sluoksnių nusodinimas joniniu dulkinimu diodinėse sistemose
4.2.3. Sluoksnių nusodinimas joniniu dulkinimu aukštadažnėse išlydžio sistemose
4.2.4. Sluoksnių nusodinimas joniniu dulkinimu magnetroninio išlydžio sistemose
4.2.4.1. Magnetroninis dujų išlydis
4.2.4.2. Magnetroninių sistemų konstrukcijos
4.2.4.3. Subalansuoto magnetinio lauko magnetronai
4.2.4.4. Nesubalansuoto magnetinio lauko magnetronai
4.2.4.5. Dvigubi magnetronai
4.2.4.6. Impulsiniai magnetronai
4.2.4.7. Keičiamo magnetinio lauko magnetronai
4.2.5. Joninis spindulinis sluoksnių nusodinimas
4.3. Sluoksnių nusodinimas elektrolankine ir lazerine abliacija
5. CHEMINIŲ JUNGINIŲ SLUOKSNIŲ SINTEZĖ
5.1. Sintezės procesų termodinamika ir kinetika
5.2. Reakcijų intensyvinimas. Medžiagų aktyvinimas
5.3. Cheminių junginių sluoksnių sintezės metodai
5.3.1. Reaktyviojo magnetroninio nusodinimo ypatumai
6. JONAIS IR PLAZMA AKTYVINAMAS SLUOKSNIŲ NUSODINIMAS
6.1. Reaktyvusis jonais ir plazma aktyvinamas nusodinimas
7. CHEMINIS NUSODINIMAS IŠ GARŲ FAZĖS
8. NANOTRUKTŪRIZUOTŲ MEDŽIAGŲ SUDARYMO BŪDAI
8.1. Terminiai ir mechaniniai metodai
8.2. Nanostruktūrizuotų medžiagų sudarymas nusodinimu iš garų fazės
9. SLUOKSNIŲ MODIFIKAVIMO PROCESAI
9.1. Dangų savybių keitimas lazeriniu atkaitinimu
9.1.1. Trumpalaikis atkaitinimas
9.1.2. Lazerių naudojimas trumpalaikiam dangų atkaitinimui
9.1.2.1. Spinduliuotės sąveika su puslaidininkinėmis medžiagomis
9.2. Plonų sluoksnių savybių keitimas jonine apšvita
9.2.1. Jonų implantacija
9.2.2. Defektų susidarymas
CITUOJAMOS IR REKOMENDUOJAMOS LITERATŪROS SĄRAŠAS