TURINYS
PRATARMĖ
1. NANOTECHNOLOGIJOS
1.1. Nanomokslas
1.2. Kritiniai darinių matmenys
1.3. Nanomedžiagos
1.4. Nanodariniai ant paviršių
1.5. Nanodarinių susidarymo pradinės stadijos
1.6. Kritiniai nukleacijos matmenys
1.7. Nanodarinių formavimosi kinetika
1.8. Nanostruktūriniai dariniai mikroklasteriuose
1.9. Papildoma energetinė aktyvacija nusodinimo metu
1.10. Joninės spinduliuotės efektai
1.11. Kaufmano jonų šaltinis
1.12. Harvelo ir Frimano jonų šaltiniai
2. NANOMEDŽIAGŲ GAVIMAS MAGNETRONINIU IR PLAZMINIU NUSODINIMO BŪDU
2.1. Krūvių judėjimas magnetiniame lauke
2.2. Magnetrono veikimo principas
2.3. Nebalansuoti magnetronai
2.4. Nusodinimas reaktyviųjų dujų aplinkoje
2.5. Darbo taško parinkimas
2.6. Impulsinis magnetronas
2.7. Matematinis taikinio erozijos aprašymas reaktyviųjų dujų aplinkoje
3. NANOKRISTALINIŲ METALINIŲ DANGŲ FORMAVIMAS MAGNETRONINIO IR VAKUUMINIO NUSODINIMO BŪDU
3.1. 1 laboratorinis darbas: vakuuminės sistemos tyrimas
3.2. 2 laboratorinis darbas: magnetrono tyrimas
3.3. 3 laboratorinis darbas: eksperimentinis nanostruktūrinių Mg ir Ni dangų gavimas
3.4. 4 laboratorinis darbas: dangos storio matavimas
3.5. 5 laboratorinis darbas: dangos savitosios varžos matavimas keturių zondų metodu
4. NANOKRISTALINIŲ MEDŽIAGŲ STRUKTŪRINIAI TYRIMAI
4.1. Kristalografijos pagrindai
4.2. Brago dėsnis
4.3. Kristalitų matmenų nustatymas
4.4. 6 laboratorinis darbas: difraktogramų analizė
LITERATŪRA