TURINYS
ĮVADAS
1.1. Nanokristalinių medžiagų klasifikacija
1.2. Medžiagų dispersija
1.3. Paviršiaus modeliai
1.4. Vidiniai paviršiai
1.5. Nanokompozicinės dangos su pagerintomis mechaninėmis savybėmis
1.6. Nanodarinių forma
2 skyrius. DIFUZIJA NANOKRISTALINĖSE MEDŽIAGOSE
2.1. Difuzijos mechanizmai
2.2. Difuzija grūdelių ribomis
2.3. Difuzija trijų grūdelių ribomis
3 skyrius. KIETOS MEDŽIAGOS FAZĖS VIRTIMAS DUJINE
3.1. Pagrindinės idealiųjų dujų lygtys
3.2. Kietųjų medžiagų garinimas rezistyvinio kaitinimo ir elektronų spindulio būdais
4 skyrius. GARAVIMAS IR ATOMŲ PERNEŠIMAS VAKUUME
4.1. Sočiųjų garų slėgis
4.2. Atomų pernešimas vakuume
5 skyrius. LAZERINĖS TECHNOLOGIJOS
5.1. Lazerinis medžiagų kaitinimas
5.2. Impulsinis lazerinis dangų nusodinimas
6 skyrius. PLAZMINĖ IMPLANTACIJA
6.1. Procesai plazmoje
6.2. Plazminės implantacijos modelis
6.3. Lazerinės ir joninės spinduliuotės vienalaikė sąveika
7 skyrius. PLAZMA AKTYVUOTOS CHEMINĖS TECHNOLOGIJOS
7.1. Plazmocheminio ėsdinimo mechanizmas
7.2. Reaktyviųjų dujų aktyvinimas plazmoje
7.3. Kinetinė Bolcmano lygtis
7.4. Medžiagų erozija plazmoje aktyvuotų reaktyviųjų dujų aplinkoje
7.5. Atmosferinė plazma
8 skyrius. PAGRINDINIAI PROCESAI IR JŲ SINERGETINIS VEIKSMAS
8.1. Paviršiaus fizikinė erozija
8.2. Aktyvacija
8.3. Adsorbcija
8.4. Cheminės reakcijos
8.5. Medžiagos erozija aktyvuotų reaktyviųjų dujų (plazmos) aplinkoje
8.6. Spinduliuote aktyvuotų procesų tarpusavio ryšiai
8.7. Pagrindiniai modelio parametrai (arba kintamieji)
8.8. Pagrindinės modelio lygtys
9 skyrius. PROCESŲ MODELIAI
9.1. Selektyvi medžiagų erozija
9.2. Erozija ir difuzija
9.3. Erozija ir aktyvacija
9.4. Erozija ir kaskadinis maišymas
9.5. Daugiaelementė adsorbcija
9.6. Adsorbcija ir erozija
9.7. Adsorbcija ir aktyvacija
9.8. Fizikiniai resorbcijos mechanizmai
9.9. Resorbcija ir erozija
9.10. Paviršinės reakcijos ir paviršiaus erozija
9.11. Plazmocheminis ėsdinimas ir adsorbcija
9.12. Plazmocheminis ėsdinimas ir aktyvacija
9.13. Dujų sudėties kitimas plazmocheminio ėsdinimo metu
9.14. Trafareto įtaka ėsdinimui ir adsorbcijai
10 skyrius. SPINDULIUOTĖS ĮTAKA PAVIRŠIAUS RELJEFUI
10.1. Reljefo susidarymo mechanizmas joninės erozijos metu
10.2. Adsorbcijos ir erozijos įtaka reljefui
10.3. Erozija ir aktyvacija
10.4. Erozija, adsorbcija ir aktyvacija
10.5. Sluoksniuotas taikinys
10.6. Daugiakomponenčiai taikiniai
LITERATŪROS SĄRAŠAS
Rekomenduojama literatūra
Cituojama literatūra