TURINYS
ĮVADAS
Procesai dujų plazmoje
1. Dujų plazma. Plazmos klasifikacija
2. Plazmos dalelių sąveika
3. Dujų atomų jonizacija elektronų smūgiais
4. Neigiamų jonų susidarymas ir irimas
5. Molekulių sužadinimas ir disociacija
6. Plazminio ir plazmocheminio ėsdinimo sistemos
1 laboratorinis darbas. JONINIS MEDŽIAGŲ ĖSDINIMAS
Darbo tikslas
Teorinė dalis
1. Greitų dalelių sąveika su medžiaga
2. Dulkėjimo mechanizmas. Dulkėjimo koeficientas
3. Faktoriai, veikiantys dulkėjimo koeficientą
4. Eksperimentinis dulkėjimo koeficiento nustatymas
Joninio ėsdinimo įrenginys
Matavimo metodika
Darbo eiga
Rezultatų analizė
2 laboratorinis darbas. REAKTYVUSIS JONINIS ĖSDINIMAS
Darbo tikslas
Teorinė dalis
1. Aktyvios terpės formavimas
2. Ėsdinimo kinetika ir termodinamika
3. Joninės apšvitos įtaka ėsdinimui
4. Inhibitorių susidarymas
Aparatūra ir darbo metodas
Darbo eiga
Rezultatų analizė
3 laboratorinis darbas. MIKROSTUKTŪRŲ FORMAVIMAS REAKTYVIU JONINIU ĖSDINIMU
Darbo tikslas
Teorinė dalis
1. Mikrostruktūrų formavimas. Kaukės uždėjimas
2. Ėsdinimo selektyvumas
3. Ėsdinimo anizotropiškumas ir geba
Aparatūra ir darbo metodas
Darbo eiga
Rezultatų analizė
4 laboratorinis darbas. PLAZMINIS OKSIDINIMAS
Darbo tikslas
Teorinė dalis
Matavimo metodika
Darbo eiga
Rezultatų analizė
PRIEDAS
LITERATŪRA