Turinys
Įvadas
I. Krūvininkų judėjimas elektriniame ir magnetiniame laukuose. Krūvininkų difuzija
1.1. Krūvininkų judėjimas vienalyčiame elektriniame lauke
1.3. Krūvininkų judėjimas magnetiniame lauke
1.4. Krūvininkų judėjimas elektriniame ir magnetiniame laukuose
1.5. Krūvininkų difuzija
II. Dalelių judėjimas ir sąveika plazmoje
2.1. Bendriausios dujų savybės
2.2. Krūvininkų judėjimas ir sąveika plazmoje
2.3. Krūvininkų sąveika su neutraliomis dalelėmis
2.3.1. Tamprieji smūgiai
2.3.2. Netamprieji smūgiai
2.4. Dujų atomų jonizacija elektronų smūgiais
2.5. Peningo jonizacija
2.6. Sacho lygtis
2.7. Molekulių sužadinimas ir disociacija
2.8. Neigiamų jonų susidarymas ir irimas
2.9. Plazmos švytėjimas
2.9.1. Sužadintų atomų ir jonų spinduliavimas
2.9.2. Stabdymo spinduliavimas
2.9.3. Rekombinacijos tipai. Rekombinacinis spinduliavimas
III. Elektros srovė dujose
3.1. Savaiminis ir nesavaiminis išlydžiai
3.2. Elektros srovės voltamperinė charakteristika dujose
3.3. Rusenantis išlydis
3.4. Lankinis išlydis
3.5. Aukšto dažnio išlydžiai. E ir H tipo išlydžiai
IV. Dalelių sąveika su medžiaga
4.1. Atskaitos sistemos. Tvermės dėsniai ir judėjimo lygtis
4.2. Klasikinis dalelių sklaidos modelis
4.3. Diferencialinis sklaidos skerspjūvis
4.4. Sąveikaujančių dalelių potencinė energija. Sąveikos potencialai
4.4.1. Kietųjų sferų modelis
4.4.2. Kuloninės sąveikos potencialas
4.4.3. Realūs tarpatominės sąveikos potencialai
4.5. Elektronų sąveika su medžiaga
4.6. Jonų sąveika su medžiaga
4.6.1. Dalelių prabėgimo ilgiai ir jų dispersijos. Normalinis dalelių pasiskirstymo dėsnis
4.6.2. Energijos nuostoliai. Stabdymo geba
4.6.3. Jonų implantacija
4.7. Radiaciniai defektai
V. Kietųjų kūnų dulkėjimas veikiant jonams
5.1. Dulkėjimo mechanizmas. Dulkėjimo koeficientas
5.2. Faktoriai, darantys poveikį dulkinimo koeficientui
5.3. Eksperimentinis dulkėjimo koeficiento nustatymas
5.4. Daugiakomponenčių medžiagų dulkėjimas. Pirmenybinis dulkėjimas
VI. Cheminių procesų termodinamika
6.1. Termodinaminės sistemos, termodinaminiai parametrai
6.2. Vidinė energija ir entalpija
6.3. Entropija
6.4. Gibso ir laisvoji energijos
6.5. Cheminis potencialas
6.6. Plazmos termodinamika
VII. Heterogeninės sistemos
7.1. Gibso fazių taisyklė
7.2. Paviršiaus termodinamika
7.3. Naujos fazės susidarymo pradinės stadijos
7.4. Gibso adsorbcijos lygtis
VIII. Cheminių reakcijų kinetika
8.1. Grįžtamosios ir negrįžtamosios reakcijos
8.2. Pusiausvirųjų procesų konstanta
8.3. Le Šateljė principas
8.4. Homogeninių reakcijų kinetika. Reakcijos greičio konstanta
8.5. Kinetinis veikiančių masių dėsnis
8.6. Reakcijos greičio priklausomybė nuo temperatūros. Arrenius dėsnis
8.7. Katalizė
8.8. Nepusiausvyroji cheminė kinetika
IX. Plazmocheminio ir reaktyviojo dėsnio ėsdinimo kinetika
9.1. Atomų ryšio molekulėje energija
9.2. Aktyvių atomų ir radikalų susidarymas
9.3. Adsorbcija
9.4. Heterogeninio ėsdinimo mechanizmas
9.5. Inhibitorių susidarymas
9.6. Deguonies vaidmuo ėsdinimo procese
9.7. Joninės apšvitos įtaka ėsdinimo procesui
9.8. Ėsdinimas reaktyviųjų dujų jonais
9.9. Fotonų įtaka plazmocheminio ėsdinimo procesui
9.10. Ėsdinimo selektyvumas ir anizotropiškumas
Literatūra